晶圓高度測量工具顯微鏡

● Z軸通過電動手脈進行精準控制（對焦精度可達0.0005mm）

● 快速釋放裝置便于測量工件大或測量工件數量多的快速移動工作臺

● 高位目鏡觀察

● 千兆網口CCD圖像成像(HKVISION-300萬像素)

晶圓高度測量工具顯微鏡技術參數

3.1主體規格

◆X坐標行程:    200（mm）

◆Y坐標行程：   100（mm）

◆Z坐標行程:    150（mm）
◆X、Y坐標測量示值誤差≤（3+L/150）µm ，L為被測長度(單位：mm)
◆X、Y、Z數顯分辨率：0.001mm  
◆輪廓光源：綠色LED平行光源，無極亮度可調

◆上光源：白色LED環形可調光源

3.2目視系統
◆雙目視鏡筒+標準的TV攝像機端口

◆物鏡：1.0-6.5X可連續變倍物鏡

◆目鏡放大倍數：10X，單雙目同，可選配20X
◆總放大倍數：  10X-65X（包括畸變在內的）
◆物鏡放大倍數誤差：放大率誤差≤0.08%

3.3影像系統
◆標配CCD相機1X鏡筒

◆CCD：千兆網口高清晰攝像頭（HKVISION）
◆綜合影像放大倍數：45X-1000X

晶圓高度測量工具顯微鏡軟件功能

1.產品介紹

◆武漢易測精密儀器設備有限公司推廣出的Z軸電動手脈金相測量顯微鏡，使用專業訂制的高精準細分脈沖金相測量電機，通過設置多種脈沖細分量和機構上的精準調校，可以實現快中慢三檔調速來控制Z軸光學鏡頭上下移動；

  而在選擇低速檔時，我們讓電機脈沖量的最小化設置跟傳動機構的調校，可以保證Z軸上下移動時，精細到1UM-0.5UM（甚至更低的分辨率）每格（手脈刻度），而有效地杜絕了了目前市場上主流金相測量顯微鏡在高倍率使用下的通病不再發生（高倍下無法定準對焦面，使用手動Z軸調焦齒輪打滑等等現象?。?/span>

◆Z軸電動手脈金相測量顯微鏡集軟件、光、機、電為一體，是高精度、高效率的測量顯微鏡；
◆Z軸電動手脈金相測量顯微鏡是觀察、測量和處理系統化的顯微鏡陣容;
◆Z軸電動手脈金相測量顯微鏡可以作為觀察顯微鏡，用相對量測法檢查工件表面形狀等非接觸

測量為目的各種精密加工業，是計量室、實驗室以及生產車間不可缺少的計量檢測設備之一。